本製品は、過酷な産業環境下でも安定した圧力測定を実現する、高精度セラミック圧力センサです。耐薬品性・耐腐食性に優れたセラミックダイヤフラムを採用しており、腐食性ガスや溶剤、酸性環境など、一般的な圧力センサでは劣化が懸念される用途でも高い信頼性を発揮します。さらに、モノリシック構造による優れた機械強度により、高圧負荷や繰り返しの圧力変動に対しても安定した性能を維持します。温度補償オプションや高速応答性能も備えており、油圧機器、流体制御、産業機器など、高精度かつ長期安定性が求められるアプリケーションに最適な圧力センサです。
特長
- 2 ～ 400bar（200kPa ～ 40MPa）までの幅広い圧力レンジ
- セラミック（Al2O3）構造の優れた耐薬品性・耐腐食性
- ピエゾ抵抗方式による高精度な圧力測定
- 温度補償オプションに対応
- φ18mm の圧力センサ
アプリケーション
- 半導体製造装置
- 油圧機器
- 食品製造装置
- 流体制御装置
- 水処理設備
資料ダウンロード
ME670 データシート（英文）PDF － 786.32 KB
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