Flush Diaphragm, Piezoresistive Ceramic Pressure Sensor ME500

ピエゾ抵抗方式セラミック圧力センサ ME500

　
圧力センサ
流量センサ
セラミック
ピエゾ抵抗式
堅牢
耐腐食
耐磨耗性
REACH
RoHS

ME500 は、ピエゾ抵抗方式を採用した圧力センサで、レーザー調整可能な PTC 抵抗器による熱補償されており、セラミック製であることから、全領域で高い線形性を実現しています。本製品は Al2O3（アルミナ）セラミック製でサファイア仕様にも対応可能です（応相談）。そのため、優れた耐薬品性・堅牢性・生体親和性に優れています。半導体製造装置や食品製造装置に使用する各種溶液、アルカリ性液体、腐食性ガスなどの流量の計測が可能です。また、高い堅牢性を有しているため、船舶など過酷な屋外環境下での水位測定にも最適です。さらに、ステンレス製の圧力センサと異なり、内部にオイルを封入していない為、液体流量の測定をより安全に行うことが出来ます。

圧力センサ ME500

特長

  • 圧力レンジ
    • 0.5 ～ 800[bar]
    • 7 ～ 11,600[psi]
    • 0.05 ～ 80[MPa]
  • 製品径：φ18.0mm
  • 優れた耐久性、耐腐食性、磨耗性
  • アルミナ 96%・高純度アルミナ 99.6%・サファイアカスタム対応
  • ゲージ圧・絶対圧・シールドゲージ圧
  • 準拠規格：REACH、RoHS

アプリケーション

  • 半導体製造装置
  • 流量測定機器
  • 食品製造装置
  • 農業用計測装置
  • 医療用計測装置
  • 投げ込み式水位計
  • 薬液圧力計

資料ダウンロード

ME500 データシート（英文）PDF － 932.91 KB

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