ME504 は、Φ18mm のセラミック製でピエゾ抵抗式の圧力センサです。Al2O3(アルミナ)セラミックで構成されており、受圧部をサファイア仕様にカスタマイズすることが可能です。そのため、優れた耐薬品性、堅牢性、生体親和性を備えています。半導体製造装置や食品製造装置において、各種溶液、アルカリ性液体、腐食性ガスなどの流量を測定することができます。また、高い堅牢性を持つため、船舶などの厳しい屋外環境下での水位測定にも適しています。また、ステンレス製の圧力センサとは異なり、内部にオイルを封入していないため、液体流量の測定をより安全に実施することができます。

特長
- 優れた耐久性・耐腐食性・耐磨耗性
- 圧力レンジ
- 0.5~800[bar]
- 7~11,600[psi]
- 0.05~80[MPa]
- 圧力タイプ:絶対圧、ゲージ圧、密封ゲージ圧
- センサ径:Φ18mm
- 出力:差動mV/V信号
- 各種認証
- DVGW
- WRAS
- NSF/ANSI 61
- NSF/ANSI 372
- REACH
- RoHS
アプリケーション
- 半導体製造装置
- 食品製造装置
- 投げ込み式水位計
- 圧力センサ
- 腐食性のある液体流量計
資料ダウンロード
ME504 データシート(英文)PDF - 857.61 KB