Flush Diaphragm, Piezoresistive Ceramic Pressure Sensor ME504

φ18mm フラッシュダイヤフラムピエゾ抵抗セラミック圧力センサ ME504

 

ME504 は、Φ18mm のセラミック製でピエゾ抵抗式の圧力センサです。Al2O3(アルミナ)セラミックで構成されており、受圧部をサファイア仕様にカスタマイズすることが可能です。そのため、優れた耐薬品性、堅牢性、生体親和性を備えています。半導体製造装置や食品製造装置において、各種溶液、アルカリ性液体、腐食性ガスなどの流量を測定することができます。また、高い堅牢性を持つため、船舶などの厳しい屋外環境下での水位測定にも適しています。また、ステンレス製の圧力センサとは異なり、内部にオイルを封入していないため、液体流量の測定をより安全に実施することができます。

圧力センサ ME504

特長

  • 優れた耐久性・耐腐食性・耐磨耗性
  • 圧力レンジ
    • 0.5~800[bar]
    • 7~11,600[psi]
    • 0.05~80[MPa]
  • 圧力タイプ:絶対圧、ゲージ圧、密封ゲージ圧
  • センサ径:Φ18mm
  • 出力:差動mV/V信号
  • 各種認証
    • DVGW
    • WRAS
    • NSF/ANSI 61
    • NSF/ANSI 372
    • REACH
    • RoHS

アプリケーション

  • 半導体製造装置
  • 食品製造装置
  • 投げ込み式水位計
  • 圧力センサ
  • 腐食性のある液体流量計

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