低圧を高感度に測定できるセンサでは、過圧への耐性や耐薬品性、長期安定性が求められます。こうした課題に対する有効な選択肢として、ME550 は静電容量式とセラミックダイヤフラムを採用した圧力センサです。微小圧力（6kPa）の検出に適した高い感度に加え、セラミック材料の優れた耐薬品性・耐摩耗性により、過酷な環境下でも安定した測定性能を発揮します。また、フラッシュダイヤフラム構造を採用しているため、付着物が残りにくく洗浄性にも優れており、医療機器やプロセス制御、HVAC など幅広い分野で活用できます。
特長
- 静電容量式による高感度測定
- 最小 6kPa（60mbar）の低圧力から最大 2MPa（20bar）までの幅広い測定可能
- φ32.4mm の大口径セラミックダイヤフラムを採用
- 96% Al2O3 もしくは 99.6% 以上の Al2O3 による優れた耐腐食性・耐薬品性・耐摩耗性を実現
- -40 ～ +135℃ の幅広い動作温度範囲に対応
アプリケーション
- 投げ込み式水位計
- 水処理・排水処理設備
- 水素関連設備（水素製造装置・水素ガスタンク）
- 半導体製造装置
- 真空・リーク試験装置
資料ダウンロード
ME550 データシート（英文）PDF － 662.24 KB
仕様
| 項目 | 単位 | 内容 |
|---|---|---|
| 圧力レンジ |
0-60mbar ～ 0-20bar (0-6kPa ～ 0-2MPa) |
|
| センサタイプ | - | フラッシュダイヤフラム 絶対圧（A) または ゲージ圧 (G) |
| 方式 | - | 静電容量式/比率 |
| ベース材料 | - | セラミック Al2O3 96％ |
| ダイヤフラム材料 | - | セラミック Al2O3 96％ または 99.6％ |
| 重量 | g | ≦20 (セラミックセルのみ） |
| センササイズ | mm | 32.4±0.10 |
| 応答時間 | ms | ≦10 |
| 静電容量（Cx and Cr） | pF | 50 - 80 |
| オフセット | - | Cx/Cr = 1 ± 0.07 |
| 動作温度 | ℃ | -40 ～ +135 (-40°F ～ +275°F) |
| 保存温度 | ℃ | -40～+150 (-40℉ ～ +302℉) |
| 準拠規格 | - | REACH, RoHS, Conflict Minerals Free |
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