ME657 は、「小型化」「高信頼性」「過酷環境対応」を同時に実現する φ12.85mm の超小型セラミック圧力センサです。半導体装置や真空・ガスプロセスで求められる、限られたスペースでの高圧・腐食性ガス・水素環境下の長期安定計測に対応します。Al2O3（アルミナ）セラミックダイヤフラムにより、腐食や水素脆化を防止し、金属ダイアフラムで問題となる劣化やドリフトを抑制。さらに、モノリシック構造によってリークやクラックを防ぎ、高圧・圧力サイクル下でも高い信頼性と長寿命を実現します。厚膜ホイートストンブリッジと PTC 抵抗器による温度補償により、高い安定性と再現性を確保し、高密度実装が求められる半導体・真空プロセス用途に最適な圧力センサです。
特長
- 圧力レンジ
- 0 ～ 350 bar
- 0 ～ 35 MPa
- 0 ～ 5,076 psi
- 差動mV/V出力
- φ12.85mm の小型圧力センサ
- 優れた耐腐食性・耐薬品性・機械的強度・生体適合性・摩耗性
- ゲージ圧対応
アプリケーション
- 半導体製造装置
- 水素関連装置
- 真空ポンプ・真空プロセス
- 分析装置・プロセス計測
- 圧力センサ
- その他液体圧力計など
資料ダウンロード
ME657 データシート（英文）PDF － 1022 KB
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