Pressure-sensing solution for applications with low to medium pressure

小型 MEMS ピエゾ抵抗式圧力センサダイ S シリーズ

　
圧力センサ
MEMS ダイ
センサチップ
超小型
高感度
カスタム対応

本製品は、6.9 ～ 34,474kPa の広い圧力レンジに適した小型のピエゾ抵抗式 MEMS 圧力センサダイです。装置の小型化や高温環境下での安定した圧力測定に課題を抱えるお客様に向けて設計されています。-40℃ ～ 150℃ の広い動作温度範囲と優れた長期安定性を実現しており、温度変化の大きい環境でも安定した測定が可能です。ピエゾ抵抗式ホイートストンブリッジを採用しており、シリコンダイアフラムの微小な変形を高精度に電気信号へ変換することで、高感度かつ高精度な圧力検出を行います。クリーンな空気や非腐食性ガスの圧力測定に適しており、産業機器、分析装置など幅広い分野における課題解決に貢献します。

ピエゾ抵抗式圧力センサダイ S シリーズ

特長

  • 6.9 ～ 34,474kPa の幅広い圧力レンジ
  • 絶対圧・ゲージ圧の選択可能
  • 1.5×1.5mm の超小型 MEMS ダイ
  • ピエゾ抵抗式ホイートストンブリッジによる高感度検出
  • -40℃ ～ 150℃ の広い動作温度範囲

アプリケーション

  • 圧力センサ
  • 圧力センサモジュール

資料ダウンロード

S シリーズ データシート（英文）PDF － 671.4 KB

S Series 紹介動画

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