First Sensor 社の高精度慣性センサは、傾斜角センサ（SI シリーズ）と加速度センサ（SA シリーズ）をご用意してあります。素子は単結晶シリコンセンサー素子を採用しており、最先端のマイクロマシニング技術を利用する高いS/N比と優れた温度に対する安定性を実現しました。
仕様
| 項目 | SI-11.S1C.-30 |
|---|---|
| 検出軸 | 2軸 |
| 測定範囲 | ±30° |
| 分解能(10Hz) | ＜0.0015° |
| スケールファクター（再現性） | ±35 ppm |
| スケールファクター（温度特性）※ | ±50 ppm/K |
| バイアス（再現性） | ±0.0030° |
| バイアス（温度特性）※ | ±0.0025°/K |
| 出力方式 | SPI |
| 動作温度範囲 | -40～+85℃ |
※ 温度特性は未較正時の値です。
アプリケーション
下記を含むあらゆる分野での傾斜角監視や制御に最適です。
- 一般産業機械
- 産業用ロボット
- 建造物
- 農業機械
- 食品機械
- 建設機械
- 測定器
仕様
| 型番 | SA-12.S1.C-3 | SA-13.S1.C-8 | SA-14..S1.C-15 |
|---|---|---|---|
| 検出軸 | 2軸 | 2軸 | 2軸 |
| 測定範囲 | ±3g | ±8g | ±15g |
| 分解能(10Hz) | ＜40μg | ＜65μg | ＜95μg |
| スケールファクター（再現性） | ±35 ppm | ±35 ppm | ±35 ppm |
| スケールファクター（温度特性）※ | ±50 ppm/k | ±50 ppm/K | ±50 ppm/K |
| バイアス（再現性） | ±115 μg | ±260 μg | ±470 μg |
| バイアス（温度特性）※ | ±65 μg/K | ±105μg/K | ±175μg/K |
| 出力方式 | SPI | SPI | SPI |
| 動作温度範囲 | -40 ～ +85℃ | -40 ～ +85℃ | -40 ～ +85℃ |
※ 温度特性は未較正時の値です。
アプリケーション
各分野の振動における加速度測定に最適です。
- プロセス制御
- 地震測定
- 傾斜角測定
- 動力測定
- 速度測定
- 機械
資料ダウンロード
SI/SA Series データシート (1.25MB PDF)
