微差圧 差圧 圧力センサ 基板実装型圧力センサ 小型圧力センサ 熱式マイクロ流量
LMIは、マイクロフローを介した気体の熱流量測定に基づく微差圧センサです。マイクロ流路を通過する気体の熱流量を測定します。この革新的なLMIテクノロジーは、特に超低圧において優れた感度を発揮します。センサー通過するガスの流量が極めて少ないため埃の混入を防ぐことができます。他の流量式圧力センサと比較して、埃や湿度、長い配管の影響を受けません。
特長
- リニアライズド・デジタルI²C出力16ビット シグマデルタA/D変換
- 直接マニフォールド組立用圧力ポート
- 優れた長期安定性と精度を実現
- 特許取得済のリアルタイム・オフセット補正技術とリニアライゼーション技術
- オンチップ温度センサ
アプリケーション
- 人工呼吸器
- 酸素濃縮器、呼吸同調器
- スパイロメーター
- HVAC
- 燃料電池